- Rundtisch mit vertikal angeordneten Einheiten
- Be- und Entladen hauptzeitneutral durch Automatisierung
- In-process-Messung (IPM)
- Zwei-Schritt-Methode (Schruppen / Planfinish) NanoStar
Optional
- Vor- oder Nachprozessmessung
- Bürstentgraten hauptzeitneutral
- Wendeeinheit für A- und B-Seitenbearbeitung