使用Thielenhaus MicroStar进行平面超精加工
MicroStar的圆形工作台设计（200和EVO系列）包括一个位于中央的立柱以及分布其上的加工单元。圆转台即力矩电机，根据型号的不同最多可装配12个工件轴。传输节拍的动力性能可使辅助时间最多缩短0.8秒。由于在该机床上所有工位同时工作，装卸过程对工艺时间没有影响。典型的生产节拍在6到12秒之间。机床上也可以进行双件和三件加工，即在每个生产节拍中完成2个和3个工件
专利技术确保最高的工艺可靠性和运行安全性
MicroSens
智能型MicroSens技术在工件轴组件中采用力传感器。高精密度的切面识别和通过力控制系统灵活调节的进给过程可确保准确的材料切削。因此，该技术不仅避免了由于操作错误引起的机床或工件损坏，而且提高了工件质量、降低了生产节拍。
ToolSens ToolSens也可进一步提高工艺可靠性。不使用测量控制装置也可保持长度公差。该系统能够在换磨具后以+/- 1μm的精确度自动进行长度计算。这一高精密度以及力控制系统的切面识别功能使机床不需要测量控制装置，而是通过持续不断的磨具长度补偿即能保持工件长度公差。
PowerTilt PowerTilt软件能够在个人电脑系统和平板电脑，也能直接在机床控制单元中运行。该软件可使操作员或设置员以最简单的方式输入希望得到的工件表面平整度（例如1.2µm凹面）。对此所需的调节操作由机床在几秒钟内自动完成，并由内部测量系统监控。
编辑过程
MICROSTAR 200系列
MicroStar 200可实现前所未有的工件质量，是市场上最成功的超精机床。它可以根据对精加工中心机床的要求拆卸下来。机床最多可安装8个工位，可以每个工件3秒的生产节拍同时加工2个工件，或者在一个工件上最多同时进行7种不同的加工操作。
MICROSTAR 300系列
这个系列的机床适用于轮廓复杂的小型和大型工件，以及小批量或中批量生产。根据装配的不同，该系列可达到小于0.001mm的平整度以及Rz为0.5mm的粗糙度。典型的材料磨削量为0.20mm至0.35mm。
MicroStar EVO 1200
MicroStar EVO(lution) 1200为组合式精加工树立了新的标杆。它继承了MicroStar 200系列成功的圆转台设计，配有12个工位，可实现高精密度、高经济性的表面和几何形状加工。工位数量大，可进行多种工艺组合，例如双端面超精、外表面和锥面磨削、内表面磨削、珩磨和毛刷式去毛刺。
工艺组合
待加工零件要在很短的生产节拍条件下达到高精密度，这一点越来越重要。因为会产生夹紧误差，在一台或多台先后运行的机床上反复夹紧工件这种方式越来越不合适。在一台机床中一次夹紧后进行各个工艺步骤，可以显著提高加工质量。